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Robust mid-infrared photothermal imaging system for characterization of thin films at high spatial resolution

机译:鲁棒中红外光热成像系统,用于在高空间分辨率下表征薄膜

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摘要

We demonstrate robust performance of a mid-infrared photothermal imaging system with sensitive detection. Imaging of a patterned thin film shows a resolving power of 3.1 μm, below the diffraction-limited spot size of the pump beam.
机译:我们展示了中红外光热成像系统具有敏感性检测的鲁棒性能。图案化薄膜的成像显示出3.1μm的分辨率,低于泵浦光束的衍射限制光斑尺寸。

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