DSP; Fuzzy PID; MEMS; accelerometer; electrostatic suspension;
机译:微机械悬挂式加速度计的系统级仿真和悬浮控制实验
机译:基于扰动观测与抑制的下一代空间静电加速度计控制器设计
机译:紧凑的H_(infinity)鲁棒的再平衡环路控制器设计,用于微机械静电悬浮陀螺仪
机译:六轴静电悬挂微机加速度计的DSP控制系统设计
机译:加速度计在精密运动控制系统设计中的应用及其在线性电动机中的应用。
机译:微机械静电悬浮六轴加速度计的设计制作和悬浮实验
机译:微机械静电悬浮六轴加速度计的设计,制作和悬浮实验