Gas sensor; MEMS; Simulation; Temperature control;
机译:电容性MEMS压力传感器的差分宽温度范围CMOS接口电路
机译:使用COMSOL Multiphysics软件设计和分析基于MEMS的氮化铝(AlN),铌酸锂(LiNbO 3 / sub)和具有不同基板材料的氧化锌(ZnO)悬臂,它们具有不同的基板材料
机译:使用COMSOL Multiphysics软件设计和仿真MEMS加速度计
机译:MEMS气体传感器的微热板温度控制电路设计,通过多物理场和多域软件接口
机译:MEMS传感器的电容式传感器接口电路,应用于高温数据采集。
机译:电容性MEMS压力传感器的差分宽温度范围CMOS接口电路
机译:错误到:MOX基NH3气体传感器的温度控制和读出电路接口