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A New Etching Method for Reducing the Electron Shading Damage Using ICP Etcher

机译：ICP刻蚀机减少电子阴影损伤的新刻蚀方法

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《Next Generation Internet Networks, 2005 》|2005年|p.51-53|共3页
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Tabara S.;
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中图分类自动化技术、计算机技术 ;
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