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Micro-Electro-Mechanically Actuated Integrated Optic Switch for NxN Optical Cross-Connect Matrix Array

机译：用于NxN光交叉连接矩阵阵列的微机电致动集成光开关

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A micro-opto-mechanical 1x2 switch has been achieved using SiON planar waveguide technology. The operational principle of the switch is based on the mechanical deflection of the cantilever beam due to electrostatic interaction. The first functional results are reported.

机译：使用SiON平面波导技术已实现了微光机械1x2开关。开关的工作原理基于由于静电相互作用而导致的悬臂梁的机械偏转。报告了第一个功能结果。

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来源
《Conference on integrated photonics research》|2000年|p.44-45|共2页
会议地点
作者
Ivan Shubin; Patrick LiKamWa;
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会议组织
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正文语种
中图分类物理学;
关键词

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