Photomask Blank; Thickness; Thickness distribution; X-ray Reflectivity; Grazing-incidence;
机译:联合评估掠入射X射线荧光和X射线反射率数据,以改善超浅深度分布的轮廓
机译:X射线反射率法研究水接触对负载型聚合物薄膜密度分布的影响
机译:无损X射线反射率法评估介孔有机硅酸盐薄膜的孔径
机译:具有X射线反射法的多层光掩模坯料的结构和厚度分布评价
机译:关于一种新的时间分辨X射线反射方法及其在材料科学中的应用
机译:联合评估掠入射X射线荧光和X射线反射率数据以改善超浅深度分布的轮廓
机译:联合评估掠入射X射线荧光和X射线反射率数据,以改善超浅深度分布的轮廓
机译:用X射线反射率测量薄膜厚度的方法评价