atomic force microscopy; nanocharacterization; nanometrology; tungsten; ultra-thin film;
机译:射频等离子体磁控溅射技术沉积带电ODS-FeCrNi薄膜的制备与表征
机译:射频磁控溅射沉积La掺杂的xBiInO3(1-x)PbTiO3压电薄膜的表征
机译:溶剂热途径合成纳米粒子的射频磁控溅射沉积CuInS_2薄膜的表征
机译:射频磁控溅射沉积超薄钨膜的纳米级表征
机译:射频反应磁控溅射在低温下沉积在硅上的压电氮化铝薄膜的声波器件特性
机译:氧浓度对超薄射频磁控溅射沉积铟锡氧化物薄膜作为光伏器件上电极的性能的影响
机译:非反应性射频磁控溅射沉积Ga掺杂ZnO薄膜的缺陷-导电关系的制备与表征