Acceleration; Resonant frequency; Broadband communication; Power generation; Wideband; Cavity resonators;
机译:基于键合的晶片级真空封装,使用原子氢预处理的铜键合框架
机译:通过小面积和超薄MEMS封装的硅盖转移键合进行晶圆级真空密封
机译:晶圆级真空密封通过将硅盖的转移键合用于小型占地面积和超薄MEMS封装
机译:具有三晶圆键合的晶圆级真空封装的AlN宽带能量采集器
机译:使用摩擦发电机进行可调宽带能量收割机和阈值冲击传感器
机译:基于键合的晶片级真空封装使用原子氢预处理的铜键合框架
机译:使用原子氢预处理Cu键合框架的粘合基晶片级真空包装