Resonant frequency; Silicon; Oscillators; Impedance; Doping; Micromechanical devices; Frequency measurement;
机译:MEMS谐振器具有宽频调谐范围和线性响应,对电压控制振荡器使用的控制电压
机译:使用适用于简单MEMS工艺的可变谐振器的宽范围可变频率谐振隧穿二极管振荡器
机译:具有低功耗和超紧凑TIA内核的单谐振器双频BEOL嵌入式CMOS-MEMS振荡器
机译:用于温度稳定的高频mems振荡器的分布式Lamé模式谐振器
机译:相变材料和氮化铝轮廓模式记忆谐振器的单片集成,用于高度可重构的射频系统。
机译:基于98dBΩ可调带宽跨阻放大器和Lamé模式谐振器的SubmW 18MHz MEMS振荡器
机译:使用具有共存s0和s1LamB波模式的单个压电aLN mEms谐振器的无开关双频可重构CmOs振荡器