Levitation control; Micromachined electrostatically suspended accelerometer; System design; Initial levitation;
机译:微机械悬挂式加速度计的系统级仿真和悬浮控制实验
机译:微机械静电悬浮陀螺仪悬浮控制的建模与仿真
机译:微机械静电悬浮陀螺仪悬浮控制的建模与仿真
机译:微机械静电悬浮加速度计的悬浮控制系统设计
机译:高性能微机械隧道加速度计的设计,微制造和控制。
机译:微机械静电悬浮六轴加速度计的设计制作和悬浮实验
机译:微机械静电悬浮六轴加速度计的设计,制作和悬浮实验