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【24h】

Fabrication of 15' HD AMOLED panel with Micro-Crystalline Silicon TFTs adopting Indirect Thermal Crystallization method

机译：采用间接热结晶法的微晶硅TFT制造15'HD AMOLED面板

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15" HD WXGA AMOLED panel has been fabricated with micro-crystalline silicon TFTs adopting indirect thermal crystallization (ITC) method. We developed a-Si TFT based bottom gate process of 7masks, which is suitable for a large sized panel. ITC-TFT showed high mobility and reliable electrical characteristics in a full range of the panel.
机译：15“ HD WXGA AMOLED面板是采用间接热结晶（ITC）方法用微晶硅TFT制造的。我们开发了基于a-Si TFT的7掩模底栅工艺，适用于大尺寸面板。ITC-TFT显示在整个面板范围内都具有高迁移率和可靠的电气特性。

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