MOSFET; elemental semiconductors; CMOS integrated circuits; ion implantation; silicon; silicon-on-nothing MOSFET; hydrogen; helium; CMOS technology; gate length; bulk silicon MOSFET; 50 nm; He; H;
机译:用氢和氦共注入制造的无硅MOSFET
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机译:氢气和氦共注塑的一种新型硅片MOSFET制造的技术
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