silicon compounds; gas sensors; thermistors; Young's modulus; internal stresses; micromechanical devices; thin films; reliability; fatigue; finite element analysis; CMOS integrated circuits; adaptive multilevel substructuring technique; CMOS micromachine;
机译:无需任何后处理的使用CMOS工艺的微机械磁传感器的建模和制造
机译:使用CMOS-MEMS技术制造集成有读出电路的聚苯胺纳米纤维氨传感器
机译:采用CMOS-MEMS技术制造的微型FET压力传感器
机译:自适应多级子结构技术在CMOS微机械热敏电阻气体传感器模型中的应用,部分(ii):制造不确定性在MEMS可靠性中的影响
机译:通过金属有机气相外延技术开发用于压电MEMS / NEMS应用的表面微机械氮化铝空气桥。
机译:使用CMOS–MEMS技术制造的低浓度氨气传感器
机译:modeling and manufacturing of a micromachined magnetic sensor Using the CmOs process without any post-process
机译:芯片上的微机械传感器系统:mEms与CmOs的集成及其应用