机译:使用超薄氧化物-氮化物-氧化物栅极电介质的低压氧化和化学气相沉积形成的高性能0.25 / spl微米/米以下器件
机译:随时间变化的衰减规律,可可靠地预测低于0.25 / splμm/ m的体硅N-MOSFET的寿命
机译:氮化硅基电介质的低温处理技术及其在表面钝化和集成光学器件中的应用进展
机译:低热预算的双频氮化硅膜在亚0.25μm器件中的预熔金属介电应用
机译:等离子辅助化学气相沉积钽氮化硅薄膜用于纳米级器件。
机译:用于微和纳米电子应用的低k介电薄膜的热稳定性的宽带介电光谱表征
机译:低温下基于MEMS的氮化硅薄膜材料和器件的航天应用
机译:喷射气相沉积(JVD)氧化硅/氮化物/氧化物薄膜(ONO)薄膜作为siC和GaN器件的栅极电介质的研究。