silicon compounds; hafnium compounds; dielectric thin films; X-ray photoelectron spectra; silicon oxynitride film; high-K dielectric material; angle-resolved X-ray photoelectron spectroscopy; concentration profile; hafnium oxide film; thermally grown;
机译:氧氮化硅和高k膜/硅界面的高分辨率角度分辨光电子能谱
机译:Si氧氮化物和高k薄膜/ Si接口的高分辨率角度分辨光电子能谱
机译:沉积在SiO2 / Si表面的高k介电Al2O3和HfO2层的X射线光电子能谱表征
机译:角膜分辨X射线光电子谱表征氧氧氮化硅和高k介电材料
机译:通过角分辨X射线光电子能谱,零椭偏法和电容电压测量研究氧化物/硅界面的结构和电学性质
机译:将热水解和甲基化气相色谱/质谱与X射线光电子能谱相结合以表征地质材料中的复杂有机组合
机译:高k CeO2 / La2O3堆叠电介质的X射线光电子能谱研究