机译:用于KrF光刻的底部抗反射涂层的低介电常数FLARE 2.0膜
机译:六甲基二硅氧烷薄膜作为ArF准分子激光光刻的底部抗反射涂层
机译:用于KrF,ArF和F_2光刻的三层底部抗反射涂层的设计
机译:低介电常数丝膜作为KRF和ARF光刻的底抗反射涂层
机译:用于超低介电常数层间电介质应用的含氟和碳的PECVD膜和类金刚石碳膜的研究。
机译:注射纳米成型和多层膜的光学性能可快速复制和轻松调制亚波长抗反射聚合物膜
机译:含有用于KRF激光光刻的新型发色团的新型抗反射涂层材料。
机译:非晶金刚石薄膜KrF和arF激光pLD中激光烧蚀羽流动力学的物种分辨成像和门控光子计数光谱