机译:KrF或ArF准分子激光的涂层光解法制备钯膜
机译:用起伏器和ArF准分子激光器制备ZnO薄膜
机译:六甲基二硅氧烷薄膜作为ArF准分子激光光刻的底部抗反射涂层
机译:使用ARF准分子激光器使用涂层光解过程制备{Sub} 2O {Sub} 3和ITO薄膜
机译:使用准分子激光加工制造的高性能薄膜晶体管。
机译:193 nm ArF受激准分子激光在激光辅助等离子体增强SiNx的化学气相沉积中的作用以进行低温薄膜封装
机译:激光CVD加工薄膜及涂层光解法。
机译:用arF(193 nm)准分子激光脉冲激光沉积非晶类金刚石薄膜