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Sub-micron thin films of lithium niobate single crystals prepared by crystal ion slicing and wafer bonding

机译:通过晶体离子切片和晶圆键合制备的铌酸锂单晶亚微米薄膜

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摘要

Sub-micron thin films of single crystal lithium niobate are prepared by ion implantation and wafer bonding. The thin film exhibit high crystalline quality and have identical optical and electro-optical properties to bulk single crystals.
机译:通过离子注入和晶片键合制备单晶铌酸锂的亚微米薄膜。该薄膜显示出高晶体质量,并具有与块状单晶相同的光学和电光学性质。

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