surface cleaning; integrated circuit manufacture; surface contamination; etching; viscoelasticity; photoresists; X-ray fluorescence analysis; atomic absorption spectroscopy; wafer-formed cleaning material; cleaning wafer; removing particles; viscoelastic;
机译:在单晶片清洗中也要去除小颗粒(<100-nm)和金属污染。
机译:清洁300毫米晶圆载物盒-用于防止Si晶圆污染的UV /光电子光催化剂清洁装置
机译:清洁300毫米晶圆架箱 - 一种用于防止Si晶片污染的UV /光电子光催化剂清洁单元
机译:使用晶片形成的清洁材料从晶片阶段移除颗粒(清洁晶片)
机译:在化学机械抛光和晶圆清洁过程中,亚微米颗粒的粘附和去除。
机译:超声化学机械抛光与超声研磨相结合的单晶碳化硅晶片材料去除及表面生成研究
机译:半导体 - 材料与加工技术的特刊。清洁晶圆输送系统 - 滚动接触电流收集器。
机译:用于晶圆键合的晶圆清洗和预粘接模块