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A reliability analysis tool of small dimension MOS device based on relaxation spectroscopy technique

机译:基于弛豫谱技术的小尺寸MOS器件可靠性分析工具

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摘要

In this paper, we introduce a new kind of reliability analyzing tool. It is developed from our research results on MOS devices-"relaxation spectroscopy technique". The technology can separate multiple traps quickly and precisely, and provide enough parameters for degradation analysis.
机译:在本文中,我们介绍了一种新型的可靠性分析工具。它是根据我们对MOS器件的研究结果开发的,即“松弛光谱技术”。该技术可以快速,准确地分离多个陷阱,并为降解分析提供足够的参数。

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