机译:通过氮离子注入硅形成的氮化物埋层的结构表征
机译:用于形成超薄氮氧化硅(SiO_(x)N_(y))层的超浅氮等离子体注入
机译:用于形成超薄氮氧化硅(SiO_(x)N_(y))层的超浅氮等离子体注入
机译:超薄SOI材料通过植入氮气和氧的扩散形成硅氧氮化硅层
机译:超薄氧注入绝缘体上硅材料的微观结构和加工条件的相关性。
机译:双钙钛矿型LnBaCo2O5.5 +δ薄膜中的超快原子逐层氧空位交换扩散
机译:注入氧的绝缘体上硅(SOI)层中砷和硼扩散的测量和建模
机译:高剂量氧气注入si中埋地绝缘层形成的优化条件。