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【24h】

IEEE/SEMI International Semiconductor Manufacturing Science Symposium. Theme: 'Semiconductor Manufacturing'. ISMSS '89 Proceedings (Cat. No.89CH2699-7)

机译:IEEE / SEMI国际半导体制造科学研讨会。主题:“半导体制造”。 ISMSS '89会议记录(目录号89CH2699-7)

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摘要

The following topics were dealt with: IC manufacturing; organisation; training people; manufacturing management; quality control; process control; defect control; equipment maintenance; manufacturing worthiness; factory modelling; and expert systems.
机译:讨论了以下主题:IC制造;组织;培训人员;制造管理;质量控制;过程控制;缺陷控制;设备维修;制造价值;工厂建模;和专家系统。

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