Institute for Theoretical Electrical Engineering Ruhr-University Bochum D-44780 Germany;
机译:通过电压波形定制在电容耦合等离子体中定制的离子通量-能量分布函数
机译:通过将能量限制在双射频驱动的大气压等离子体中来调整电子能量分布函数
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机译:定制量身定制的离子能量分布在线为每个人在线
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机译:定制的离子通量 - 能量分布以电容方式起作用 通过电压波形调整耦合等离子体