MOSFET; capacitance; damage; high-k gate stack; junction; plasma;
机译:MOSFET等离子体灰化过程引起的氧化物降解的新仿真模型
机译:Si衬底中等离子体诱导的缺陷位点生成及其对缩放MOSFET的性能下降的影响
机译:金属1等离子体处理引起的热载流子注入对n-MOSFET的特性和可靠性的影响
机译:等离子处理引起的高级MOSFET结退化的机理
机译:用于高级互连的多孔低k电介质的机械可靠性:多孔低k电介质的不稳定性机理及其通过惰性等离子体引发的骨架结构再聚合的介导研究。
机译:国内/工业废水处理硫酸盐自由基氧化工艺的综述研究:降解效率和机制
机译:高压SiC电源MOSFET中单事件烧坏的离子诱导能量脉冲机制及结屏障肖特基二极管