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Review of the history and technology of micromachined miniature displays using foundry-produced silicon backplanes

机译:回顾使用代工厂生产的硅底板的微型机械微型显示器的历史和技术

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摘要

Abstract: Liquid-crystal over silicon is an established technology for reflective spatial light modulators and microdisplays. This paper reviews their development to date, highlighting in particular the micromachining of the mirror array and the associated packaging issues. !29
机译:摘要:硅上液晶是一种用于反射式空间光调制器和微型显示器的成熟技术。本文回顾了它们迄今为止的发展,特别强调了反射镜阵​​列的微加工以及相关的封装问题。 !29

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