Integration of Electroactive Polymers in MEMS Ultrasonic Sensors

著录项

• 来源
  《Device packaging 2010 》|2010年|p.1-5|共5页
• 会议地点 Scottsdale/Fountain Hills AZ(US)
• 作者

  Michael Kranz; Michael Whitley; Sharon Sanchez; Michael Allen;

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• 作者单位

  Stanley Associates, 7067 Old Madison Pike, Suite 100, Huntsville, AL 35806;

  Stanley Associates, 7067 Old Madison Pike, Suite 100, Huntsville, AL 35806;

  Stanley Associates, 7067 Old Madison Pike, Suite 100, Huntsville, AL 35806;

  Stanley Associates, 7067 Old Madison Pike, Suite 100, Huntsville, AL 35806;

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• 会议组织
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类 制造工艺 ;
• 关键词