Advanced Photon Source, Argonne National Laboratory, 9700 South Cass Avenue Argonne, Illinois 60439, USA;
stitching interferometry; phase measuring interferometry; long trace profiler; optical metrology; x-ray mirrors; synchrotron radiation;
机译:使用型材涂层制造用于同步辐射X射线聚焦的嵌套椭圆KB镜
机译:暴露于同步辐射的深X射线光刻镜表面污染的表征
机译:基于连续小波变换的光谱干涉测量3-D表面轮廓测量
机译:使用缝合干涉测量的大型X射线同步辐射镜的3-D表面轮廓测量
机译:X射线吸收精细结构和同步辐射总X射线散射研究非晶铟锌氧薄膜的局部键合环境。
机译:波前测量和硬X射线纳米封膜镜的波前测量和校正的X射线单光干涉测量
机译:使用缝合干涉测量的大型X射线同步辐射镜测量的3D表面轮廓测量