U.S. Army Research Laboratory, 2800 Powder Mill Road, Adelphi, MD 20783;
photoacoustics; microelectromechanical systems; piezoelectrics; chemical sensor;
机译:基于微机电系统扫描镜的微型光学分辨率光声显微镜
机译:基于微机电系统镜面扫描的小型化全光学光声显微镜
机译:设计小型化光声传感器,用于检测氢气
机译:使用微机电结构的微型光声化学传感器
机译:微型光纤光声换能器和压力传感器
机译:基于微机电系统扫描镜的微型光学分辨率光声显微镜
机译:基于微机电系统扫描镜的小型化光学分辨率光声显微镜
机译:用于化学传感的太赫兹(THz)辐射的微机电系统(mEms)光声(pa)探测器。