Shenyang Institute of Aeronautical Engineering Shenyang 110136 China;
Neusoft Corporation Dalian 116023 China;
nanoparticle; Mg(OH)2; Ni(OH)2; Fe3O4; Mn-Zn ferrite; Ni-Zn ferrite; CaCO3.;
机译:光学电子单晶衬底的精密加工技术-超精密CMP和蓝宝石,氮化镓和碳化硅衬底的表面损伤评估
机译:单晶基板的精密加工技术,用于光电子 - 超精密CMP评价和蓝宝石,氮化镓和碳化硅基材的表面损伤
机译:用于LED的蓝宝石单晶基板的超精密CMP加工技术及其在PSS加工工艺中的应用
机译:碱性SiO2纳米浆料在材料表面超精密加工的应用
机译:EEM(弹性发射加工)的超精密加工研究
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