縮退した多結晶AZO 透明導電膜における粒界の不規則性を考慮した粒界散乱

摘要

縮退した多結晶ZnO 系透明導電膜では，電気伝導機構を支配する主因が粒界散乱である．しかし，粒界からのキャリア（電子）散乱については未だ十分な解明に至っていない．我々は，多結晶金属薄膜における粒界散乱を量子論に基づき取り扱うMunoz らの理論1)を使って，縮退半導体である多結晶Al 添加 ZnO (AZO)透明導電膜の粒界散乱機構の説明を試みている．今回は，Munoz らの理論に基づき粒界散乱における粒界の不規則性の取り扱いについて検討する