Electronic Materials Research Laboratories, Nissan Chemical Industries, LTD., 635 Sasakura, Fuchu-Machi, Neigun, Toyama, 939-2792, Japan;
BARC; ArF; immersion; hyper NA; resist profile; sublimation; barrier film; defect;
机译:了解界面附近光刻图案的偏差:底部抗反射涂层(BARC)和BARC抗蚀剂界面的表征
机译:底部抗反射涂层的光化学研究
机译:铜双镶嵌互连的电介质底部抗反射涂层
机译:Barc(底部抗反射涂层)用于浸渍过程
机译:熔融氯化铜浸没试验对高镍含量有和没有表面涂层的合金影响的研究
机译:用于CIGS太阳能电池的防反射涂层的实时优化
机译:有机底部抗反射涂层的最新进展。