Advanced Material Development Division 3, Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd., 1590 Tabata Samukawa Koza Kanagawa, 253-0114, Japan;
micro electro mechanical systems (MEMS); micro-machining; chemically amplified resist; thick film; dry-film photo resist permanent photoresist; epoxy resin; non-antimonite; environment; packaging; micro channel;
机译:MEMS的高灵敏度和非锑酸盐永久光刻胶的交联反应分析
机译:具有倒置T形电极和环形钯合金的高灵敏度MEMS电容氢传感器,用于快速响应和低功耗
机译:高灵敏度和快速响应的MEMS电容式湿度传感器的设计
机译:用于MEMS的更快敏感性和非锑岩永久性光致抗光致抗蚀剂
机译:适用于MEMS和BioMEMS应用的新型光刻胶。
机译:基于图案化超厚光刻胶的基于MEMS的压力传感器封装的制造和性能
机译:用于MEMS的高灵敏度和非锑酸盐永久性光致抗蚀剂交联反应的分析
机译:UV焙烧/固化光刻胶用作mEms制造中的牺牲层