Institute of Microelectronics, NCSR 'Demokritos', Aghia Paraskevi Athens 15310 Greece;
EUV; CO_2 compatible salts; supercritical; TMAH; line width roughness; LWR; line edge roughness; LER; correlation length; fractal dimension;
机译:超临界CO_2干燥对氢倍半硅氧烷电子束抗蚀剂粗糙度的影响
机译:使用单乙醇胺(MEA)水溶液捕获CO_2:溶剂再生和CO_2解吸过程的建模和优化
机译:使用Deshmukh-Mather模型和人工神经网络对低CO_2分压下AMP(2-氨基-2-甲基-1-丙醇)中CO_2溶解度的实验分析和建模
机译:三参数模型,使用CO_2兼容盐(CCS)在均质CO_2解决方案中抗蚀剂的线宽粗糙度分析
机译:基于pH敏感指示剂8-羟基change-1,3,6-三磺酸三钠盐(HPTS)荧光的变化,开发了一种低成本,高灵敏度,高精度的自然水中溶解CO2测量传感器溶液中的CO2扩散到整个透气膜上。
机译:Covid-19推定的预防溶液:通过综合免疫信息和分子建模方法对SARS-COV-2进行新的多孔雀疫苗候选的新型多孔蛋白疫苗候选
机译:$ CO_2 $的概率建模和全局敏感性分析 地质构造中的储存:光谱方法
机译:冰吸收粗糙度的光谱分析与实验模拟