Intel Corporation, Hillsboro, OR 97124 Lincoln Laboratory, Massachusetts Institute of Technology, Lexington, MA 02420;
resist; materials; roughness; EUV; LER; LWR; IMR; AFM; PAG;
机译:抵抗性聚合物对固有材料粗糙度的贡献
机译:抵抗破坏,以探究先天材料粗糙度
机译:深X射线光刻中掩模衬底材料对抗蚀剂侧壁粗糙度的影响
机译:对抗拒先天材料粗糙度的贡献
机译:酸性pH值对当前美学牙科材料表面粗糙度的影响。
机译:义齿基托和衬里材料的化学粗糙度变化消毒或微波照射。义齿基托和义齿的表面粗糙度材料
机译:暴露期间paG偏析影响先天材料粗糙度