Dept. of Materials Science and Engineering, Cornell University, Ithaca, NY 14853;
Dept. of Materials Science and Engineering, Cornell University, Ithaca, NY 14853;
Dept. of Materials Science and Engineering, Cornell University, Ithaca, NY 14853;
nanoparticle photoresist; positive-tone patterning; dual-tone; Ebeam; lithography;
机译:正色调纳米光致抗蚀剂:构图机理的新见解。
机译:正音纳米粒子光致抗蚀剂:新洞察图案化机制
机译:氧化物纳米粒子EUV(一种)光致抗蚀剂:目前对不寻常的图案形成机理的理解
机译:正色调氧化物纳米粒子EUV(一)光致抗蚀剂
机译:高级光刻胶材料的设计和研究:减少环境影响的正性光刻胶和用于157 nm光刻的材料。
机译:氧化铈和氧化铁纳米颗粒消除了环丙沙星对革兰氏阳性和革兰氏阴性生物膜细菌的抗菌活性
机译:氧化物纳米粒子EUV(一种)光致抗蚀剂:目前对不寻常的图案形成机理的理解