フォトニック結晶構造を用いた半導体薄膜光検出器におけるテーパ構造の検討

摘要

近年、大規模集積回路上のグローバル電気配線層において、発熱や遅延といった問題が生じており、その解決策として光配線が注目されている。そのような背景から、我々は、半導体薄膜光集積回路を LSI 上にハイブリッド実装する技術を提案しており、光源をはじめとした一連の光デバイスの研究を行ってきた。特に光検出器については、高速化・高感度化を同時に実現することが求められており、フォトニック結晶を利用した薄膜光検出器の導入を検討してきた。