Nb４層超伝導集積回路上の磁性ジョセフソン接合作製プロセスの検討

摘要

単一磁束量子回路は磁束量子を情報担体とする超伝導ディジタル回路であり、高速動作性・低消費電力性を特徴に持つが、回路の大規模化に向け、さらなる低消費電力化が求められている。その課題解決のため、超伝導ループ内に2 つのジョセフソン接合（位相シフトのない0 接合と、π 位相シフトを持つπ接合）を持つ0-π SQUID を用いた半磁束量子回路が検討されてきたが、スイッチ素子として用いる2 つのジョセフソン接合の臨界電流値を制御性良く作製することは現時点では出来ていない。そこで我々は、半磁束量子回路を実現するための新たなプロセスの検討を行った。