CNR-IMM, Sezione di Catania, Stradale Primosole 50, IT-95121 Catania, Italy;
dopant activation; ion implantation; scanning capacitance microscopy;
机译:扫描电容显微镜在硅和镁注入的氮化镓中的电激活和载流子补偿
机译:扫描电容显微镜观察6H-SiC中的载流子浓度分布
机译:原子力显微镜/扫描电容显微镜在半导体器件注入结构成像中的应用
机译:通过扫描电容显微镜通过扫描Si和Mg植入GaN的电激活和载波补偿
机译:开发用于扫描电容显微镜的ZeptoFarad(10(-21)F)分辨率电容传感器
机译:硅纳米晶体的存储特性和电荷效应的扫描电容显微镜和光谱研究
机译:扫描电容显微镜研究si和mg注入GaN中的电激活和载流子补偿