Dept. of Mech. Autom. Eng., I-Shou Univ., Kaohsiung, Taiwan;
laser beam cutting; nanotechnology; scanning electron microscopy; semiconductor technology; FIB; SEM; dicing defect; focused ion beam; interLayer Dielectric; laser grooving technique; laser kerf geometry; low-k wafer dicing; metal layers peeling; nanoscale low-k dielectric wafer; scanning electron microscopy; size 28 nm; size 45 nm; size 65 nm; wafer chipping; wafer crack; wafer delamination; Blades; Diamonds; Educational institutions; Laser beam cutting; Laser beams; Scanning electron microscopy; grooving; laser kerf geom;
机译:水环境的现状及其微生物生物传感器技术 - 第一部分:日本水环境的当前数据和日本水质调查的研究,以及微生物生物传感器技术的新可能性
机译:槽内CO_2激光焊接的实验研究-在高厚度激光焊接中的应用
机译:使用聚焦离子束,飞秒激光,准分子激光和切割技术制造用于玻璃压花的微模具
机译:用激光槽技术切割28nm低k水的实验研究
机译:基于激光的测量技术在水中蒸发引起的对流的实验研究。
机译:核磁共振技术研究生物技术系统中的水
机译:用皮秒脉冲激光切割28-NM节点Cu / Low-k晶片的研究
机译:使用固态核磁共振技术分析煤中的水和不同煤干燥技术对煤的结构和反应性的影响。季度报告,1993年12月1日 - 1994年2月28日