在不锈钢表面利用飞秒激光加工微小结构的试验研究

摘要

利用波长780 nm、频率1 kHz、脉冲宽度164 fs的飞秒脉冲激光,在不锈钢表面进行微小结构加工的试验研究.利用飞秒激光静态照射不锈钢表面,通过飞秒激光烧蚀孔的直径和脉冲能量的关系,计算飞秒激光烧蚀不锈钢材料的烧蚀阈值和有效烧蚀半径.利用烧蚀的微孔直径对飞秒激光加工的最小尺寸进行了阐述.研究了飞秒激光的主要参数(如脉冲能量和脉冲数量)对加工尺寸的影响规律.利用聚焦的飞秒激光束沿着扫描轨迹,在不锈钢表面加工较清洁的微小结构,微小结构的加工是为了使其应用于微小模具的加工,从而满足微机电系统中微小器件的中、大规模生产,降低其成本.