一种直接标定纳米压痕测试装置机架柔度的改进方法

摘要

机架柔度是影响纳米压痕测试装置测试准确性的关键因素之一。本文分析了 Doerner-Nix方法、Oliver-Pharr方法、Sun Yong方法、Van Vliet方法等几种机架柔度标定方法，并在Van Vliet方法基础上，提出了一种直接标定纳米压痕测试装置机架柔度的改进方法。利用此改进方法对自主研制的纳米压痕测试装置的机架柔度进行了标定，标定结果与通过Sun Yong方法得到的结果基本一致，说明了改进方法的可行性。本文提出的改进方法可方便、快速的对纳米压痕测试装置机架柔度进行标定，也可以扩展用于标定其他精密仪器装备的机架柔度。