背压氦离子气相色谱系统在高纯气体分析中的应用

摘要

介绍了一种新型的利用背压气相色谱系统和氦离子化检测器(PDHID)来对高纯气体中痕量杂质的检测方法。经过实验证明,该方法能够提高分离度和氦离子化检测器的灵敏度,其检测限达到0.45 ppb(以甲烷计),目前市场上商品化高纯气体检测方法提高了近一个数量级,可以轻松应对7N级以上高纯气体产品的分析。