微泵型超声波雾化器研究

摘要

微泵型超声波雾化片是基于MEMS加工和逆压电效应高频驱动技术的一种高性能超声波雾化器,其具有结构简单、体积质量小、方便携带、雾化效果好等优点.首先,本文创新性的提出动锥角超声波雾化原理,并在此基础上建立了雾化理论模型,为微泵型超声波雾化器的设计提供了理论指导;其次,对雾化基片进行了振动扫频试验,得到了多个共振工作频率,并展开了雾化效果实验;最后,讨论并总结了动锥孔雾化器的设计和优化对雾化效果影响的几个关键因素,为微泵型超声波雾化器提供切实的实验指导和设计指导.通过对微泵型超声波雾化器的理论与实验研究,为今后对该类型雾化器设计提供了指导依据.