等离子体方法刻蚀LED荧光粉表面缺陷的初步研究

摘要

本文从理论上详细分析和探讨了利用等离子体的选择性刻蚀特性来对现有商用LED荧光粉的表面形貌进行修饰，以提高其发光效率，稳定性等性能参数。给出了具体的实验方案和一些初步的实验结果。