不同基体材料表面电弧离子镀TiN薄膜的液滴及结合性能研究

摘要

采用真空阴极电弧离子镀技术分别在4Cr5MoSiV1(H13)模具钢、1Cr18Ni9Ti(304)不锈钢、YG6硬质合金、Ti6Al4V(TC4)钛合金四种基体表面沉积TiN薄膜.利用扫描电镜对薄膜表面液滴进行观察分析,通过划痕仪对薄膜的膜/基结合力进行表征.结果表明:基体材料不同,TiN薄膜上液滴的密度、尺寸等存在明显的区别,其中,镀膜后H13钢和304不锈钢表面的液滴数量最多,YG6硬质合金次之,TC4钛合金最少;薄膜的膜/基结合强度依次为YG6硬质合金＞H13钢＞304不锈钢＞TC4钛合金.