基于纳米压痕方法的单晶SiC化学反应催化剂比较

摘要

在CMP加工过程中,基片上的化学反应产物的材料力学特性则直接决定了机械去除效率的高低.对此,本文使用不同固相催化剂组成芬顿试剂对单晶SiC基片进行了化学反应试验,通过分析反应产物的元素含量以及化学结构,并采用纳米压痕实验检测了化学反应层的力学特性,据此比较了不同固相催化剂的反应效果.