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NAND Flash储器总剂量效应测试技术研究

摘要

本文首先分析了NAND型Flash存储器的总剂量效应失效模式,然后根据器件的失效模式和失效现象对测试系统的功能提出了要求,并对测试系统的实现方法进行了介绍.利用研制的测试系统,进行了NAND型Flash存储器总剂量辐照实验,研究了辐照偏置和工艺尺寸对器件总剂量效应的影响.

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