随机表面粗糙度对MEMS径向气体轴承性能的影响

摘要

基于分形几何理论表征了MEMS径向气体轴承的随机粗糙表面，修正了气体的雷诺方程，研究了径向轴承中气体薄膜在滑移效应和粗糙度耦合作用下的压强分布、承载能力等轴承特性。结果表明：由于表面粗糙度的影响，气体轴承压力分布、承载能力具有非线性特性，波动较明显。