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染料在彩色光阻剂中应用及性能研究

摘要

本文通过在彩色光阻剂中添加染料,评价了染料与颜料在光谱和耐热性上的差异,并配置了Hybrid型光阻进行了评价,结果此光阻剂在透过率,对比度上有明显提升,且色差在可接受的范围,为开发新型彩色光阻剂材料提供了试验和评价方法.

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