基于球型电容原理的三维测头激光校准方法

摘要

为对所研制的基于球型电容原理的三维测头进行高精度校准，构建了一种高精度的激光校准台，将压电陶瓷的高位移发生灵敏度与双频激光干涉仪的高位移测量精度有机结合，突破了传统采用标准台阶与沟槽等作为标准件，在测量机上在线校准方法中标准件数目与测量机自身精度的限制，校准结果可直接溯源至激光波长，并可在程序控制下产生任意波形，实现对测头静、动态特性的高精度自动校准。实验结果表明：所研制的基于球型电容原理的三维测头实现将超高分辨力、非接触式测量及基于球测头的三维尺度与坐标测量能力合理而有效地兼顾，满足大深径与大深宽比深小内尺寸零件超精密测量的要求。